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宜蘭地震 半導體廠:營運未受重大影響

【記者陳語馨/綜合報導】宜蘭外海27日深夜發生規模7.0地震,傳出對半導體產業的影響僅次於921大地震及113年的0403地震。台積電表示,緊急應變後各廠區運作正常;南亞科說,除極少數機台正在復原,其餘生產設備皆已恢復正常運作,對營運及財務狀況無重大影響。

晶圓代工廠台積電指出,少數竹科廠區達疏散標準,依緊急應變程序進行人員室外疏散並快速回至廠區,各廠區工作、安全系統運作正常。

記憶體廠商南亞科29日說明宜蘭地震影響情況,已完成全面安全檢查,全體員工及廠內合作廠商均平安,營運維持正常,除極少數機台正在復原中,其餘生產設備皆已恢復正常運作,這次地震對營運及財務狀況無重大影響。

另外,石英爐管的破損程度與備料匹配度將成為生產線能否全面復原的關鍵。石英爐管是半導體製造過程中的容器,能確保矽晶圓在加工過程中不被金屬離子汙染。由於石英具有硬而脆的特性,地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機台框架發生碰撞而破碎。

晶圓代工廠力積電表示,石英爐管屬於關鍵流程環節,修復與更換所需時間較長,其他機台將盡快復歸,但整體復原時程取決於石英爐管材料供應與安裝恢復情況。雖然113年的0403地震後已增加石英材料庫存,但仍需評估其可用性與匹配度,若需更換將延長裝機與校準的時間,影響後續晶圓交期。◇