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前研發大將林本堅: 台積電技術超車英特爾

【記者侯駿霖/綜合報導】晶圓代工龍頭台積電在5奈米製程方面,全採極紫外光(EUV)微影設備,領先全球半導體業,英特爾(Intel)則還未進入EUV量產的階段。台積電前研發副總、清大半導體研究學院院長林本堅27日透露,英特爾在2002年曾號召企業組成EUV研發聯盟,台積電無法加入,因此改採浸潤式(Immersion)微影技術,反而超越英特爾。

清大半導體研究學院27日揭牌,由台積電前研發副總林本堅擔任院長,林本堅專精微影技術,他接受媒體採訪時表示,英特爾與超微(AMD)、IBM等企業,在2002年就成立了EUV LLC聯盟,期許共同研發極紫外光(EUV)相關設備,導入60、40奈米製程使用。

林本堅指出,聯盟當時有6家廠商,台積電無法加入,只能改採浸潤式微影技術,直到5奈米製程才採用EUV技術;EUV LLC聯盟中,除了除英特爾外,其他成員最後都沒有再持續下去。

林本堅說,半導體應用愈加廣泛,如何壓低成本達到最好的效果才是真正的挑戰,不一定都從EUV技術著手,因為成本較高,可能會划不來。他說,若有其他方式能降低成本,就可以用別的辦法,但這不是說半導體不需要微影技術。

至於台積電可能吸走學院培養人才,林本堅表示,清大半導體研究學院與台積電、聯電、力積電及美光等11家企業合作;他認為,學院提供學生與各家廠商接觸的機會,學生也有望和教授合作,各家廠商應該要自己努力,才能吸引需要的人才。